當(dāng)前位置： 
無(wú)塵車(chē)間是指空氣無(wú)塵度達(dá)到規(guī)定級(jí)別的受控空間。其功能是把空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除室外，并將室內(nèi)的無(wú)塵度、溫度、濕度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音、振動(dòng)、照明及靜電控制在某一需求范圍內(nèi)。那么河南無(wú)塵車(chē)間建設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范有哪些呢？
按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小得微乎其微，但是對(duì)于一些精密產(chǎn)品生產(chǎn)，比如光學(xué)行業(yè)而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)行業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。
一、無(wú)塵車(chē)間的結(jié)構(gòu)組成
1、無(wú)塵車(chē)間的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無(wú)塵車(chē)間。
(1)天花板系統(tǒng)：包括吊桿、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁。
(2)空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過(guò)濾器系統(tǒng)、風(fēng)車(chē)等。
(3)隔墻板：包括窗戶、門(mén)。
(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。
(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。
2、無(wú)塵車(chē)間的建筑主體構(gòu)造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無(wú)論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件：
A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕。
B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子。
C.吸濕性小。
D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。
二、無(wú)塵車(chē)間的等級(jí)
1、無(wú)塵車(chē)間等級(jí)世界各國(guó)均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國(guó)制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。
2、209E與209D等最大的不同在于209E表示單位增加了公制單位，無(wú)塵車(chē)間等級(jí)以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…。依此類(lèi)推，配合國(guó)際公制單位的標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后的阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm的微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為的，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方的間，則以1.5、2.5、3.5…表示。
3、美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每立方英尺為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)的表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級(jí)為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。
三、無(wú)塵車(chē)間控管的項(xiàng)目
1、能除去空氣中飄游的微塵粒子。
2、能防止微塵粒子的產(chǎn)生。
3、溫度和濕度的控制。
4、壓力的調(diào)節(jié)。
5、有害氣體的排除。
6、結(jié)構(gòu)物與隔間的氣密性。
7、靜電的防制。
8、電磁干擾預(yù)防。
9、安全因素的考慮。
10、節(jié)能的考量。
四、無(wú)塵車(chē)間之分類(lèi)
1、亂流式
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵車(chē)間內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間，并由無(wú)塵車(chē)間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無(wú)塵車(chē)間等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本，無(wú)塵車(chē)間之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高無(wú)塵車(chē)間等級(jí)。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之無(wú)塵度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。
2、層流式
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無(wú)塵車(chē)間等級(jí)需定較高之環(huán)境使用，一般其無(wú)塵車(chē)間等級(jí)為Class 1~100。其型式可分為二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之無(wú)塵度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。
3、復(fù)合式
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超無(wú)塵之空氣。
(1)無(wú)塵隧道：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使無(wú)塵度等級(jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。
無(wú)塵隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易。B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)無(wú)塵管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將無(wú)塵度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之無(wú)塵度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部無(wú)塵室：將無(wú)塵室等級(jí)10,000~100,000之亂流無(wú)塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的無(wú)塵度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用。無(wú)塵工作臺(tái)、無(wú)塵工作棚、無(wú)塵風(fēng)柜即屬此類(lèi)。
無(wú)塵工作臺(tái)：等級(jí)Class 1~100級(jí)。
無(wú)塵工作棚：為在亂流式之無(wú)塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級(jí)之無(wú)塵空間，其等級(jí)為10~1000級(jí)，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。
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